酸性蚀刻自动分析速率影响因素有哪些？

酸性蚀刻自动分析，也叫氯化铜酸性蚀刻系统，通常使用于单面板蚀刻、多层板的内层蚀刻或外层蚀刻上。因这些制程都用干膜或液态感光油墨作为蚀刻阻剂，而这几种感光材料相对而言均为耐酸不耐碱性的特性，故选用酸性蚀刻。
酸性蚀刻自动分析系统类型简介
1.三氯化铁蚀刻液 ﹕
其再生困难，污染严重，废液难处理等而正在被淘汰（Fe3+>50%）。
2.硫酸—双氧水蚀刻液﹕
由于蚀刻速度较低，其一般用于图形电镀、内外层压膜前处理 （适于薄铜）。
3.氯酸盐蚀刻液﹕
具有蚀刻速度稳定，溶铜量大，蚀刻液易再生和回收，能减少污染等特点。
氯酸盐系统简介
1.酸性蚀刻液的主要成份：HCl（盐酸）、NaClO3（氯酸钠）及添加剂
2.目前公司生产的酸性蚀刻液再生剂主要为CC-228，系以低氯酸钠为主，且加入特殊之添加剂的浓缩蚀刻液，生产作业时，系以低酸当量进行操作，现场无氯气，并得到较优良的蚀刻因子。
3.CC-228能取代双氧水应用在大多数氯化铜酸性蚀刻上，免除双氧水稳定性控制问题，且较双氧水安全，再搭配自动添加系统，将成为经济效益和操作安全的氯化铜蚀刻再生系统。
酸性蚀刻自动分析速率影响因素有哪些？
1.温度：蚀刻速率随着温度的升高而增加。
温度升高时
ORP值会增加。
蚀刻的侧蚀量会增加。
HCl挥发量会加大，药水损耗会增加。
因此要提高蚀刻速率时可以适度提高温度，但zui高不要超过55℃。
2.比重：当比重小于1.3时，蚀刻速率随着比重的增大而变大。当比重大于1.3时，蚀刻速率随着比重的增大而减小。
3.ORP：ORP在500以上蚀刻速率*，580以上则对蚀刻速率影响不大。
4.酸当量：蚀刻液中必须存在一定的酸当量才能够进行蚀刻液的再生。增加酸当量可以促进蚀刻速率。
0-3N的酸当量时，蚀刻速率的增长和盐酸的量成正比；
3-5N的酸当量时，增长速率变缓。
增大酸当量可以增大蚀刻速率，但也会增大侧蚀；如果想控制侧蚀，酸当量不宜过高。